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平面碳傳感器電導(dǎo)率計(jì)

  • 更新時(shí)間:  2025-10-29
  • 產(chǎn)品型號:  HE-960LF/FS-09F-1/2
  • 簡單描述
  • HE-960LF/FS-09F-1/2平面碳傳感器電導(dǎo)率計(jì)有效保持恒定的研磨液稀釋度。保持適當(dāng)?shù)碾妼?dǎo)率值有助于保持晶圓拋光制程中的工藝穩(wěn)定性。即使是高粘度樣品液體(如 CMP 研磨液)也可以正常測量,因?yàn)槠涫褂玫膫鞲衅鹘Y(jié)構(gòu)降低了樣品液體附著在電極上的風(fēng)險(xiǎn)。
詳細(xì)介紹

HE-960LF/FS-09F-1/2平面碳傳感器電導(dǎo)率計(jì)有效保持恒定的研磨液稀釋度。保持適當(dāng)?shù)碾妼?dǎo)率值有助于保持晶圓拋光制程中的工藝穩(wěn)定性。即使是高粘度樣品液體(如 CMP 研磨液)也可以正常測量,因?yàn)槠涫褂玫膫鞲衅鹘Y(jié)構(gòu)降低了樣品液體附著在電極上的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí),傳感器由具有良好耐化學(xué)性的接液材料制成,符合半導(dǎo)體制程的清潔度要求。此外,它還可以用于半導(dǎo)體制程開發(fā)階段的引入和特殊化學(xué)藥液的電導(dǎo)率控制。

高精度/高穩(wěn)定性

測量范圍:0 至 2,000 μS/cm, 0 至 10,000 μS/cm

重復(fù)性:± 0.5% F.S.,± 1.0% F.S.

無金屬污染

由于電極材料采用特殊碳制成,因此無需擔(dān)心金屬洗脫污染問題。

配備濃度換算功能

通過輸入化學(xué)藥液濃度和電導(dǎo)率之間的關(guān)系以及溫度特性,可實(shí)現(xiàn)兩種不同類型的濃度換算。

特別適用于低濃度化學(xué)品的稀釋控制。

節(jié)省空間

通過縮小傳統(tǒng)電導(dǎo)率傳感器的尺寸,提高了安裝布局的自由度。

安裝式例

平面碳傳感器電導(dǎo)率計(jì)

HE-960LF/FS-09F-1/2平面碳傳感器電導(dǎo)率計(jì)規(guī)格

Product nameConductivity meter
ModelHE-960LF
Measurement methodElectrode type(2-electrode method)
Temperature
specifications sensor
Platinum resistance 1000Ω/℃
Measurement
range
Cell constant0.1/cm1.0/cm
Conductivity0.00 to 20.00μS/cm0.0 to 200.0μS/cm
0.0 to 200.0μS/cm0 to 2000μS/cm
0 to 1000μS/cm0 to 10000μS/cm
*Measuring range of raw conductivity Switched with setting change
Temperature0 to 100℃ Actual temperature measuring range depend on the performance of the sensor connected.
Concentration
conversion
Option 1,20 to 10.000% Conversion formula is defined by user
(temperature compensation and concentration conversion)
RepeatabilityCell constant0.1/cm1.0/cm
Conductivity0.00 to 20.00μS/cm range0.0 to 200.0μS/cm rangeWithin ±0.5% full scale
0.0 to 200.0μS/cm range0 to 2000μS/cm range
0 to 1000μS/cm range0 to 10000μS/cm rangeWithin ±1.0% full scale
Temperature±0.5℃
ConditionEquivalent input
LinearityCell constant0.1/cm1.0/cm
Conductivity0.00 to 20.00μS/cm range0.0 to 200.0μS/cm rangeWithin ±0.5% full scale
0.0 to 200.0μS/cm range0 to 2000μS/cm range
0 to 1000μS/cm range0 to 10000μS/cm rangeWithin ±1.0% full scale
Temperature±0.5℃
ConditionEquivalent input
Transmission outputNumber of output:4
DC4 to 20mA / 0 to 20mA input/output isolated type
Maximum load resistance : 900Ω
Transmission output range : Free setting within measuring range
(Negative terminals of each transmission output channel are connected inside and thus
have the same electrical potential.)
Contact outputNumber of relay:5
ALARM contact R1,R2,R3 and R4
Contact type relay : Relay contact, SPST (1a)
Contact rating:240 V AC,1 A or 30 V DC, 1 A(resistance load)
Contact function Upper or lower ON/OFF alarm each measurement items.
Contact action Closed when status is in the event.
Opened when any erroneous status is normal or power is down.
R1,R2 and R3 share a common terminal.
Self diagnosis contact RF
Contact type : relay contact , SPDT (1c)
Contact rating:240 V AC,1 A or 30 V DC, 1 A(resistance load)
C-NO contact action : Closed when status is normal. Opened when any erroneous status is
detected or power is down. R4 and RF share a common terminal.
Contact inputNumber of input:1
Contact type:open collector. No-voltage contact
Function : Hold command
Communication outputRS-485 communication
Self-checkSensor diagnosis (Short-circuit and disconnection of the temperature sensor).
Converter error
Temperature
compensation
of conductivity
● Arbitrary temperature coefficient entry
(reference temperature : 25℃, temperature coefficient : 0%/℃ to 5%/℃)
● Arbitrary temperature compensation formula entry
(reference temperature : 25℃, formula is defined by user)
● No temperature compensation is performed.
Temperature
compensation range
0 to 100℃
The temperature compensation under 0℃ and over 100℃ is expanded by a function
Ambient temperature5 to 45℃
Relative humidity-25 to 65℃
Power supplyRated voltage 24 V DC, 10W (max.)
StructureIndoor-use panel installation type
Panel case : ABS, terminal : PBT
Panel : IP65 dust and water proof structure
Conforming standardsCE MarkingEMC Directive : EN61326-2-3
FCC RuleFCC Part15
MassApprox. 550g
External dimensions96 (W) × 96 (H) × 115 (D) mm
Case depth : approx. 105mm (when panel-mounted)
Compatible sensorsFS-09F-1/2


上海默威生物科技有限公司一直專注于水質(zhì)分析儀、生物化學(xué)、生命科學(xué)儀器與環(huán)境監(jiān)測儀器的研發(fā)生產(chǎn)銷售等一體式服務(wù)公司。公司擁有自主“MOWEAL"品牌,主要生產(chǎn)產(chǎn)品覆蓋水質(zhì)分析儀、環(huán)境監(jiān)測儀、生命科學(xué)儀器等領(lǐng)域,能隨時(shí)為廣大用戶提供全程貼心服務(wù),并能提供完善的產(chǎn)品組合和方案。公司主營產(chǎn)品:PH計(jì)/酸度計(jì)、電導(dǎo)率測定儀、溶解氧測定儀、化學(xué)需氧量COD/生化需氧量BOD快速測定儀、紫外可見分光光度計(jì)、噪音計(jì)、紫外線燈、紫外交聯(lián)儀、實(shí)驗(yàn)室分析儀器等等。


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